?

在線晶圓檢測儀

發布時間:2018-03-23      瀏覽數:218     


                                                                    blob.png                                                                                                                  

  公司開發的高智能自動化在線晶圓缺陷檢測儀器,主要對曝光、刻蝕、非曝光、設計、材料(芯片)等缺陷進行掃描檢測,具有對非臨界尺寸的孤立缺陷檢測的漏檢率<1%,缺陷圖形發現分析能力,缺陷定位精度100納米,缺陷大致尺寸、形狀測量分析功能。同時可以作為曝光顯影后(ADI)和刻蝕后(AEI)殘余物的發現檢測工具,側面和背面雜質和缺陷測量工具。在原有產線的基礎上,只需做少量外形與機械改裝就可以應用于各種尺寸芯片(目前12、8、6吋等)和各種制程中。

產品中心